7nm芯片,不用EUV光刻機一樣造,這就是我們的能力和底氣?
2023/11/02

不知道從什麼時候起,很多人認為制造7nm芯片,必須要有EUV光刻機,而一旦得不到EUV光刻機,最多就是10nm,進入不了7nm。

但不曾想,前段時間遙遙領先品牌,搞出了一顆等效于7nm的芯片,其晶體管密度達到了98MTr/mm²,也就是9800萬個每平方毫米,等效于台積電、三星的7nm工藝。

一時之間,網友們都沸騰了,不僅國內的網友沸騰了,連海外媒體也沸騰了,天天拆解這款手機,分析這顆芯片,最后得出的結論是,沒有EUV光刻機的痕跡。

這就證明了,它不是EUV光刻機的產物,而看到這個結果,估計ASML也是松了口氣,因為一旦有EUV光刻機的痕跡,只怕ASML跳進黃河也洗不清了,因為全球只有他能夠生產,而美國不準他賣到中國大陸來的,他怎麼敢背這個鍋。

然后,大家就又猜測,那麼沒有EUV光刻機,7nm芯片又是怎麼來的呢?

事實上,通過浸潤式光刻機,經過多次曝光,完全可以實現7nm工藝。而多重曝光方式,甚至有LELE、LFLE、SADP等多種方式。

只不過與采用EUV光刻機相比,多重曝光方式意味著工藝更復雜,良率會降低,效率會降低,成本會提高而已,當沒有辦法時,那也不得不用。

之前台積電的第一代N7工藝,就是使用的浸潤式光刻機生產的,比如蘋果的A12、華為海思980,均是浸潤式光刻機下的7nm產物。台積電直到第二代N7工藝,才導入EUV光刻機,在當初的時候,台積電還會強調,這是EUV 7nm工藝,與非EUV工藝進行區分。

而使用浸潤式光刻機,能夠制造出7nm芯片,也是我們的底氣,因為浸潤式光刻機,目前國內并不少,這麼多年購買下來,產能非常大,毫不擔心封禁。

何況按照媒體的說法,目前國內自研的浸潤式光刻機,也快要來了,所以這就是我們的底氣和能力。

而近日,浸潤式光刻機之父林本堅,前台積電研發副總,更是有不同的觀點,他覺得中國大陸甚至有可能利用現有的設備,進行改進,制造出5nm的芯片出來,不一定非得要EUV光刻機才行。

當然會不會是這樣,就讓我們拭目以待了,當謎底真正掀開的那一刻,估計我們就全部做好了準備,畢竟能夠制造5nm芯片,意味著全球98%的芯片能夠制造了,那還怕啥?

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